一、产品基本信息

1. 品牌与产地

• 品牌：莱图加（Laitujia）

• 产地：中国・苏州

• 生产标准：执行 ISO 9001 质量管理体系，可按高真空 / 半导体行业标准管控生产流程。

2. 核心功能

• 作为高真空腔体的核心连接部件，为真空系统提供密封、支撑与接口平台，保证腔体内部高真空环境的长期稳定。

• 法兰上的螺栓孔、定位孔设计，可与真空腔、管道、阀门、测量仪器等实现快速、可靠的密封对接。

• 一体成型结构保证高刚性与同轴度，降低真空泄漏风险，适配超高真空、半导体、科研设备等严苛工况。

• 不锈钢材质耐烘烤、耐腐蚀，可承受真空系统常用的高温烘烤除气工艺，提升真空度稳定性。

3. 技术特点

• 材料工艺：采用 304/316L 不锈钢（可按需更换铝合金），经数控车铣复合加工，一体成型，无焊接应力。

• 加工精度：法兰平面度≤0.02mm，螺栓孔位公差 ±0.02mm，内孔同轴度≤0.01mm，保证密封面的贴合度与真空密封性。

• 密封性能：适配 CF/KF 标准密封形式，可与铜垫圈、氟橡胶圈等配合，实现高真空 / 超高真空环境下的零泄漏密封。

• 表面处理：内外壁镜面抛光处理，降低表面粗糙度，减少气体吸附，提升除气效率；可选电解抛光处理，进一步提升表面洁净度与耐腐蚀性能。

• 定制化能力：支持 1 件起订，可按需定制法兰尺寸、螺栓孔位、内孔规格、侧面接口及表面处理工艺。

4. 应用领域

• 高真空 / 超高真空系统：科研实验室真空腔体、半导体工艺设备真空腔、镀膜设备真空腔体。

• 工业真空设备：真空炉、热处理设备、真空干燥设备的腔体连接法兰。

• 半导体设备：晶圆处理设备、真空镀膜设备、离子注入设备的真空接口法兰。

• 科研仪器：质谱仪、电子显微镜、粒子加速器的真空腔体部件。

二、产品参数

1. 详细参数（以图示标准件为例，可定制）

2. 注意事项

1. 安装前需彻底清洁法兰密封面，去除油污、杂质，避免影响密封性能。

2. 紧固螺栓时需按对角顺序均匀分步紧固，避免单边受力导致法兰变形，影响真空密封性。

3. 烘烤除气时需控制升温速率，避免热应力导致法兰变形或腔体开裂。

4. 存放时需置于干燥、洁净环境，避免表面污染或氧化，影响后续使用。

三、应用与建议

1. 购买建议

• 场景匹配：

• 高真空 / 超高真空场景：优先选择316L 不锈钢 + 电解抛光处理，表面洁净度高，耐腐蚀性能强，适配半导体、科研设备的严苛需求；

• 常规工业真空场景：可选用 304 不锈钢材质，成本适中，满足一般真空密封需求；

• 轻量化 / 低烘烤温度场景：可选用铝合金材质，重量轻、易加工，适配非超高真空工况。

• 参数选择：

• 需提前确认法兰尺寸、螺栓孔位、内孔规格及密封形式（CF/KF/ISO），确保与真空系统接口匹配；

• 若需侧面接口，可定制多规格接口（如 CF/KF 法兰接口），适配不同真空配件的连接需求。

• 交付周期：打样周期 7-10 天，小批量生产周期 15-20 天，支持定制化加急订单。

2. 服务与保障

• 定制服务：提供从图纸优化、工艺设计到成品交付的一站式服务，工程师可协助优化法兰结构、孔位分布与密封设计。

• 质量保障：每件产品均经过尺寸检测、平面度与同轴度检测，关键批次可提供氦气检漏测试报告。

• 售后支持：收到货后 7 天内，若因加工问题导致无法安装或密封失效，可免费返修或重做；非人为损坏的产品，提供 12 个月质量质保。

• 技术支持：提供长期技术咨询，可协助客户解决法兰选型、安装适配、真空密封方案优化等应用问题。